光學粗糙度儀作為一種精度高的表面測量儀器，它的結構可以說是非常復雜而精細，它由許多部件組成，每個部件都發揮著重要的作用。首先是光源系統，它是光學粗糙度儀的核心組成部分之一，負責向待測物表面照射光線，并接受反射回來的光信號。光源系統通常是由激光器、光學元件和探測器等部件組成，其中激光器的功率和波長對測量結果有著較大的影響。其次是光學系統，它包括光學鏡頭、光學刻度和光學接收器等部件。光學系統的穩定性和精度直接影響到測量結果的準確性，因此在設計和制造時需嚴格控制其質量。